镀膜机复合真空计怎么调?
2021-03-21

复合真空计有两个真空规管--电阻规管和电离规管

分别测量 大气---0.1Pa 和 3Pa---1 X 10^-5 Pa

电离规管在出厂时已经标定完成,不可调。

由于电阻规管对外界环境比较敏感,在使用前要分别针对大气和真空环境标定 满度和零点

满度的标定:在大气环境和室温条件下,连接好电阻规管,打开真空计。

调整满度微调旋钮,让真空计显示 1.0 X 10 5 Pa

然后再在高真空环境下,调整电阻规管的零点微调旋钮,显示 1.0 X 10 ^-1Pa

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